东方晶源微（北京）请求多通道勘探器、勘探器成像体系和成像办法专利可以有用区别不同视点的二次电子所带着的描摹信息进步二次电子的质量

  金融界2024年8月21日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司请求一项名为“多通道勘探器、勘探器成像体系和勘探器成像办法“，公开号 CN8.3，请求日期为 2024 年 4 月。

  专利摘要显现，本请求供给一种多通道勘探器、勘探器成像体系和勘探器成像办法，该多通道勘探器包含：包含闪耀体模块、多个光电组件以及信号处理模块；闪耀体模块包含多个勘探区，勘探区设置为在上电时用于接纳样品外表反射的预设视点范围内的二次电子，以生成对应的勘探光信号；每个光电组件用于接纳对应的一个勘探区生成的所述勘探光信号，并将勘探光信号转换为初始勘探电信号；信号处理模块与每个光电组件相连，用于依据使能信号和操控信号对接纳到的初始勘探电信号进行信号处理，以得到方针勘探电信号。如此，可以可以有用区别不同视点的二次电子所带着的描摹信息，进步二次电子的成像质量，战胜单通道勘探器成像的缺点。

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